福利姬

Forskning

Chemical Vapour Deposition (CVD) 盲r en grundl盲ggande process vid tillverkning av ytskikt och tunna lager av olika material. CVD-processer anv盲nds f枚r att tillverka alla typer av mikroelektroniska komponenter och 盲r en av grundprocesserna f枚r v氓r vardag i halvledar氓ldern. Men CVD 盲r ocks氓 en nyckelteknik f枚r att tillverka sk盲rverktyg f枚r att bearbeta metaller. Min forskning handlar om att f枚rst氓 och kontrollera de kemiska processerna i CVD och att utveckla b盲ttre CVD-processer som ocks氓 盲r mer h氓llbara.

Olov Planthaber

Jag studerade kemi vid Link枚pings universitet 2000-2004 och doktorerade i materiefysik 2008. Efter att ha varit industriforskare p氓 Sandvik Coromant i Stockholm 2009-2010 氓terv盲nde jag till LiU och 盲r sedan 2018 professor i oorganisk kemi. Min forskning sker i gr盲nslandet mellan kemi, fysik, materialvetenskap och elektronik. Min forskargrupp best氓r d盲rf枚r av kemister, materialvetare och fysiker.

Ett av v氓ra p氓g氓ende projekt studerar atomlagerprocessning (ALP) av olika nitrider, allts氓 f枚reningar mellan metaller och kv盲ve. Inom ALP l盲gger man till och tar bort atomer fr氓n ytor f枚r att bygga upp material med atom盲r precision. Ett fokus h盲r 盲r grupp 13-nitriderna AlN, GaN, InN och deras legeringar som 盲r viktiga halvledare, till exempel 盲r de grunden f枚r lysdioder. H盲r forskar vi fr盲mst p氓 de ytkemiska reaktionerna i processerna. Detta g枚r vi tillsammans med flera f枚retag och anv盲nder oss av bland annat m盲tningar p氓 och genom kvantkemiska modelleringar tillsammans med professor Lars Ojam盲e.

I ett annat projekt utvecklar vi en ny CVD-metod som vi kallar e-CVD, d盲r de fria elektronerna i en plasmaurladdning anv盲nds f枚r att driva olika ytkemiska reaktioner, bland annat f枚r att reducera metalljonerna i adsorberade k盲llmolekyler till en metallisk film. Denna forskning bedrivs i n盲ra samarbete med professor Daniel Lundin och vi studerar b氓de plasmakemiska och ytkemiska reaktioner.

Vi forskar 盲ven hur CVD-processer kan styras f枚r att deponera material p氓 ytor med komplex topologi, till exempel med smala djupa h氓l, p氓 b盲sta s盲tt. Detta beh枚vs bland annat f枚r att kunna g枚ra datorminnen. H盲r experimenterar vi b氓de med att l盲gga till olika kemiska inhibitorer och olika tunga inerta gaser.

Trots att CVD-processer spelar stor roll f枚r v氓rt samh盲lle har det varit v盲ldigt lite fokus p氓 att g枚ra dem mera h氓llbara. Tillsammans med flera f枚retag och Dr. Annelie Carlson studerar vi olika CVD-processer med livscykelanalys (LCA) f枚r att f枚rst氓 dem ur ett h氓llbarhetsperspektiv och identifiera hur de kan g枚ras mera h氓llbara, till exempel genom att designa CVD-reaktorerna p氓 ett b盲ttre s盲tt tillsammans med professor 脰rjan Danielsson.

Kontakta g盲rna mig om du 盲r intresserad av att starta ett samarbete eller delta i ett forskningsprojekt.

Olov Planthaber

Undervisning

Jag undervisar kemi p氓 grundl盲ggande och avancerad niv氓. Du tr盲ffar mig p氓 grundkurserna inom allm盲n kemi och oorganisk kemi p氓 kandidatniv氓, samt p氓 materialkemikurser p氓 masterniv氓. Min grundfilosofi inom kemiundervisning 盲r 鈥漚tt l盲ra sig kemi 盲r att l盲ra sig t盲nka kemi鈥� och jag vill ge dig verktygen f枚r att utveckla din egen k盲nsla f枚r kemin. Jag f枚rs枚ker hela tiden peka p氓 hur v盲ldigt mycket inom kemin g氓r tillbaka till ett par enkla grundprinciper s氓 som elektronegativitet eller atom- och molekylorbitaler. Jag f枚rs枚ker ocks氓 f枚rklara hur man kan f枚rst氓 v盲ldigt mycket om en molekyl fr氓n dess struktur.